[发明专利]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201510221513.X | 申请日： | 2015-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN104846330B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 金熏;金甲锡;李浩永 | 申请（专利权）人： | 北京欣奕华科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 杜秀科 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示装置的制造技术领域，公开了一种蒸镀设备，以简化蒸镀设备的操作，减少蒸镀设备的机械老化，提高蒸镀设备的精度可靠性。蒸镀设备包括机械手，以及分布在机械手的主轴外侧的蒸镀腔室和基板位置调整腔室，其中蒸镀腔室内配置有线蒸镀源、两个并排设置的基板蒸镀工位，以及调整掩模板对位基板的调整对位设备，两个基板蒸镀工位的相对的侧边垂直于线蒸镀源的蒸镀扫描方向；基板位置调整腔室内配置有两个并排设置的基板装载工位以及基板位置调整设备，两个基板装载工位分别与两个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应；机械手包括两个末端执行器，两个末端执行器可对应驱动至两个基板蒸镀工位以及两个基板装载工位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，其特征在于，包括机械手，以及分布在机械手的主轴外侧的蒸镀腔室和基板位置调整腔室，其中：所述蒸镀腔室内配置有线蒸镀源、两个并排设置的基板蒸镀工位，以及调整掩模板对位基板的调整对位设备，所述两个基板蒸镀工位的相对的侧边垂直于线蒸镀源的蒸镀扫描方向；所述基板位置调整腔室内配置有两个并排设置的基板装载工位以及调整基板对位基板装载工位的基板位置调整设备，所述两个基板装载工位分别与所述两个基板蒸镀工位在环绕主轴的周向上位置相对应；所述机械手包括两个末端执行器，所述两个末端执行器可对应驱动至两个基板蒸镀工位以及两个基板装载工位。
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