[发明专利]给去离子水充碳酸气的设备、系统和方法在审
| 申请号： | 201510299061.7 | 申请日： | 2007-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN105036284A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | J·塞沃特;U·布拉默;C·戈茨查克;J·洛尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/68 | 分类号： | C02F1/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于湿法清洁半导体器件的设备、系统和方法。具体说来，提供了可用来输送含所需浓度CO2的去离子水的系统，以及用来产生含所需浓度CO2的去离子水的方法，所述系统和方法可用于湿法清洁半导体器件。 | ||
| 搜索关键词： | 离子水 碳酸气 设备 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种对去离子水充碳酸气的系统，其包括：a)去离子水源；b)二氧化碳气源；c)与水源和气源流体连通的接触室，所述接触室产生充碳酸气的去离子水，所述接触室具有排出充碳酸气的去离子水的出口；d)至少一个与所述出口流体连通的传感器，用于测量充碳酸气的去离子水的参数；e)与所述传感器连接的前馈回路，用于调节接触室中产生的充碳酸气的去离子水的电导率。
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