[发明专利]一种晶圆反应腔室及晶圆反应腔室之晶圆保护方法

摘要

一种晶圆反应腔室，包括反应腔室本体，设置进气阀门和出气阀门，并围闭形成晶圆的容置腔；托环载体，呈面向设置在反应腔室本体之底板处，并在呈面向设置的一侧形成“凸”型空间，且托环载体在驱动电机的作用下移动；晶圆托环，设置在托环载体之异于底板的一侧；密封垫圈，设置在托环载体之异于底板的一侧内边缘；第一伸缩支架，设置在“凸”型空间内；真空隔离灯罩，可伸缩式的设置在反应腔室本体之顶板处。本发明晶圆反应腔室在机台故障时，可自动形成密闭空间，并在重新建立真空环境，通入反应气体时，将晶圆从密闭空间内回至晶圆托环处，不仅结构简单、使用方便，而且有效避免冲击过程中形成颗粒物污染，提高产品良率。

主权项

一种晶圆反应腔室，其特征在于，所述晶圆反应腔室，包括：反应腔室本体，设置进气阀门和出气阀门，并围闭形成待工艺处理之晶圆的容置腔；托环载体，呈面向设置在所述反应腔室本体之底板处，并在所述托环载体之呈面向设置的一侧形成由第一空间和第二空间纵向叠置的“凸”型空间，且所述托环载体在驱动电机的作用下进行移动；晶圆托环，设置在所述托环载体之异于所述底板的一侧；密封垫圈，设置在所述托环载体之异于所述底板的一侧，且位于所述托环载体之内边缘；第一伸缩支架，设置在由所述托环载体形成的“凸”型空间内；真空隔离灯罩，与所述待工艺处理之晶圆呈面向设置，并可伸缩式的设置在所述反应腔室本体之顶板处。