[发明专利]用于使光输入更为一致的堆叠栅格

摘要

本发明提供了一种具有堆叠栅格偏移的背照式(BSI)图像传感器。像素传感器布置在半导体衬底内。金属栅格部分布置在像素传感器上方并且该金属栅格部分中具有金属栅格开口。金属栅格开口的中心横向偏移于像素传感器的中心。介电栅格部分布置在金属栅格上方并且该介电栅格部分中具有介电栅格开口。介电栅格开口的中心横向偏移于像素传感器的中心。本发明还提供了一种用于制造BSI图像传感器的方法。

主权项

1.一种图像传感器，包括：像素传感器，布置在半导体衬底内；金属栅格部分，布置在所述像素传感器上方并且所述金属栅格部分中具有金属栅格开口，其中，所述金属栅格开口的中心横向偏移于所述像素传感器的中心；以及介电栅格部分，布置在所述金属栅格上方并且所述介电栅格部分中具有介电栅格开口，其中，所述介电栅格开口的中心横向偏移于所述像素传感器的中心；所述金属栅格开口的中心和所述介电栅格开口的中心分别以金属栅格偏移量和介电栅格偏移量横向偏移于所述像素传感器的中心，并且所述金属栅格偏移量和所述介电栅格偏移量与所述像素传感器与所述像素传感器阵列的中心之间的距离成比例。