[发明专利]一种新型辐射热测量计及制造方法有效
| 申请号： | 201510779589.4 | 申请日： | 2015-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN105371966B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 程鑫;张绍达;李维昊 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 寇闯 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于非制冷红外检测技术领域，提供了一种包括天线结构的微测辐射热计及其制备方法。该制备方法包括：设置光敏层，溅射金层，进行图形化处理以获得天线结构以及基底结构，在基底结构上设置牺牲层，设置微桥结构，以及刻蚀并释放所述微桥结构。该微测辐射热计的天线结构显著增强了红外线强度，提高了检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 辐射热 测量计 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微测辐射热计的制备方法，包括：(1)设置50‑100nm厚的光敏层；(2)在所述光敏层上溅射50‑100nm厚的金层，进行图形化处理以获得天线结构以及用于形成光学谐振腔的基底结构；(3)在所述基底结构上设置牺牲层，所述牺牲层由多晶硅或聚酰亚胺制成；(4)在所述牺牲层上设置微桥结构；和(5)刻蚀并释放所述微桥结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南方科技大学，未经南方科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510779589.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：热电阻测温装置及测温方法
- 下一篇：一种基于阶跃滤光片的超光谱成像仪
