[发明专利]蚀刻剂组合物及使用其制造金属接线的方法有效
| 申请号： | 201510994298.7 | 申请日： | 2015-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN105734570B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 郑钟铉;朴弘植;文英慜;梁熙星;金奎佈;申贤哲;徐源国;金在明 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;H01L21/768 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张燕;王珍仙<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本文公开了蚀刻剂组合物，其包含：10重量％至20重量％的过硫酸盐；0.1重量％至10重量％的磷酸(H3PO4)或亚磷酸(H3PO3)；0.1重量％至2重量％的基于氮的环状化合物；0.1重量％至5重量％的磺酸化合物；0.1重量％至2重量％的铜腐蚀抑制剂；0.1重量％至2重量％的氟化合物；和使所有成份的总重量为100重量％的余量水。本文还公开了使用该蚀刻剂组合物制造金属接线的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 使用 制造 金属 接线 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻剂组合物，包含：/n10重量％至20重量％的过硫酸盐；/n0.1重量％至10重量％的磷酸H3PO4或亚磷酸H3PO3；/n0.1重量％至2重量％的基于氮的环状化合物；/n0.1重量％至5重量％的磺酸化合物；/n0.1重量％至2重量％的铜腐蚀抑制剂；/n0.1重量％至2重量％的氟化合物；和/n使所有成份的总重量为100重量％的余量水，/n其中，所述基于氮的环状化合物为基于3个氮的环状化合物，且/n其中，所述基于3个氮的环状化合物包括选自由以下组成的组中的至少一种：1,2,4-三唑、3-氨基-1,2,4-三唑、3-巯基-1,2,4-三唑和3-氨基-1,2,4-三唑-5-硫醇。/n
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