[发明专利]粉体供给器、成膜装置、及成膜方法有效
| 申请号： | 201580048026.6 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN106687621B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 铃木尊士;片桐友章;功刀俊介 | 申请（专利权）人： | 积水化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种粉体粉体供给器。粉体供给器(1)具备：搅拌部(3)，其搅拌原料物质(6)；气溶胶化部(4)，其引入径搅拌的原料物质(6)和载气，使原料物质(6)气溶胶化而生成气溶胶(62)，在气溶胶化部(4)的下游侧设置有喷出气溶胶(62)的喷出口(53)，在搅拌部(3)和气溶胶化部(4)之间设置有隔板(8)，在隔板(8)上形成有从搅拌部(3)侧向气溶胶化(4)部侧扩大，将经搅拌的原料物质(6)导出至气溶胶化部(4)的导出孔(8H)。 | ||
| 搜索关键词： | 供给 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种粉体供给器，其具备：搅拌部，其搅拌原料物质；气溶胶化部，其装入经过搅拌的所述原料物质和载气，并使所述原料物质气溶胶化而生成气溶胶；喷出口，其喷出所述气溶胶，在所述搅拌部和所述气溶胶化部之间设置有隔板，在所述隔板上形成有导出孔，所述导出孔从所述搅拌部侧向所述气溶胶化部侧扩大，并将经过搅拌的所述原料物质导出至气溶胶化部。
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