[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

摘要

本发明公开了一种蒸镀装置，包括真空室、转盘架、加热电极、多个工件支架及驱动装置，真空室包括相对的顶壁和底壁，转盘架设置于真空室的底壁且收容于真空室，加热电极设置于转盘架的中央位置，工件支架安装于转盘架上，加热电极包括第一电极、第二电极和第三电极，第一电极和第二电极之间设置有多个第一承载架，第二电极和第三电极之间设置有多个第二承载架，当第一电极及所述第二电极工作时，第三电极不工作，且转盘架沿顺时针方向旋转，当第二电极及第三电极工作时，第一电极不工作，且转盘架沿逆时针方向旋转。所述蒸镀装置可避免工件的表面镀膜不均匀而出现阴阳色的问题。本发明还公开一种蒸镀方法。

主权项

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括真空室、转盘架、加热电极、多个工件支架及驱动装置，所述真空室包括相对的顶壁和底壁，所述转盘架设置于所述真空室的底壁且收容于所述真空室，所述加热电极设置于所述转盘架的中央位置，所述工件支架安装于所述转盘架上，所述加热电极包括第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极和所述第二电极之间设置有多个第一承载架，所述第二电极和所述第三电极之间设置有多个第二承载架，所述第一承载架和所述第二承载架用于承载蒸镀材料，所述驱动装置用于驱动所述转盘架旋转，当所述第一电极及所述第二电极工作时，所述第三电极不工作，第一承载架上的蒸镀材料逸出，且所述转盘架沿顺时针方向旋转，直至所述第一承载架上的蒸镀材料出完之后，停止所述转盘架并关闭所述第一电极和所述第二电极，此时无蒸镀材料逸出，所述转盘架停止一定时间后，所述第二电极及所述第三电极工作时，所述第一电极不工作，从而使所述第二承载架上的蒸镀材料逸出，且所述转盘架沿逆时针方向旋转。