[发明专利]一种带电粒子探测装置有效
| 申请号： | 201610285009.0 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107342205B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 罗浒;张旭 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京启坤知识产权代理有限公司 11655 | 代理人： | 赵晶 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带电 粒子 探测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子探测装置，其中，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的靠近所述网格电极一侧的粒子入口的面积小于靠近所述电子探测单元一侧的粒子出口的面积，以避免转换后得到的二次电子丢失；屏蔽外壳。
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