[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201610331712.0 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN105960072B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 萧智鸿 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 梁挥,鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种蒸镀装置及蒸镀方法，该蒸镀装置包含支撑件、蒸镀源、第一传感器、计算单元以及动作器。支撑件用以支撑基板。蒸镀源用以蒸镀蒸镀材料，使蒸镀材料沉积于基板上。第一传感器用以于多个检测位置检测蒸镀材料的多个蒸镀速率。计算单元用以依据于检测位置所检测到蒸镀材料的蒸镀速率，估计蒸镀角。动作器用以依据估计的蒸镀角来移动蒸镀源。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，包含：一支撑件，用以支撑一基板；一蒸镀源，用以蒸镀一蒸镀材料，使该蒸镀材料沉积于该基板上；一第一传感器，用以于多个检测位置检测该蒸镀材料的多个蒸镀速率；一计算单元，用以依据于该些检测位置所检测到该蒸镀材料的该些蒸镀速率，估计一蒸镀角；以及一动作器，用以依据该估计的蒸镀角，来移动该蒸镀源；其中，该计算单元包含一比较单元，用以将所检测到的该些蒸镀速率与多个参考蒸镀速率分别进行比较，该动作器是用以依据所检测到的该些蒸镀速率与该些参考蒸镀速率之间的多个差值而移动该蒸镀源。
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- 用于在飞机外壁上形成电致发光标记的方法以及标记装置-201710510876.4
- V·卢比埃;A·库尔塔东;M·特林哈姆 - 空中客车运营简化股份公司;空中客车简化股份公司
- 2017-06-29 - 2018-01-05 - H05B33/10
- 本发明涉及用于在飞机的外壁上形成电致发光标记(20)的方法，其中该方法包括叠置各层(56、58、36、62和64)以获得标记带(44)的步骤和将标记带(44)附着到飞机的外壁的步骤，所述各层被设计为在与飞机分离的柔性背衬(48)的第一表面(52)上产生电致发光标记(20)。本发明还涉及用于实施所述方法的标记带、从所述方法获得的标记装置和包括所述标记装置的飞机。
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