[发明专利]一种悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节方法有效
| 申请号： | 201610591868.2 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN106301280B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 王鸣生;张小敏;张彬 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节方法，涉及碳纳米管谐振器。包括以下步骤：1)制备悬臂梁多壁碳纳米管谐振器；2)电子束辐照实现频率下降；3)焦耳热实现频率上升，实现悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节。利用电子束辐照和焦耳热的方式，利用高能电子束辐照碳纳米管引入缺陷和利用电流焦耳热退火消除缺陷。通过电子束辐照碳纳米管，实现碳纳米管谐振器的谐振频率可控下降，调控精度可高达0.1％/min，这一精度超过现有方法约一个数量级；通过电流产生焦耳热的方式，实现碳纳米管谐振器的谐振频率可控上升。此外，上述可逆调节过程还具有很好的可重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 碳纳米管 焦耳热 谐振器 悬臂梁 电子束辐照 谐振器频率 谐振频率 可控 高能电子束辐照 多壁碳纳米管 退火 电流产生 可重复性 可逆 制备 调控 引入 | ||
【主权项】：
1.一种悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节方法，其特征在于包括以下步骤：1)制备悬臂梁多壁碳纳米管谐振器；2)电子束辐照实现频率下降，具体方法为：(1)利用步骤1)制备的碳纳米管谐振器，调节透射电镜到预定的放大倍数，电子束聚焦至需要的电流密度，均匀覆盖住整根碳纳米管，并相隔固定时间记录一次碳纳米管的共振频率；(2)使用不同强度的电子束对碳纳米管进行照射，得到对应的碳纳米管频率漂移速率和调节精度；3)焦耳热实现频率上升，实现悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节；所述焦耳热实现频率上升的具体方法为：对制备好的碳纳米管谐振器施加电流脉冲，确认碳纳米管的一端与金对电极紧密接触并施加电流脉冲或恒电流。
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- 公开了用于调谐谐振频率的各种装置和方法。在一些实施例中，提供了一种装置(200)，该装置包括用于接收射频信号的至少一个输入电极(202、204)；石墨烯箔(210)，其用于将所述射频信号的至少一部分转变成机械能；至少一个介电支撑单元(212)，其支撑所述石墨烯箔(210)以及间隔开所述至少一个输入电极(202、204)和所述石墨烯箔(210)。所述石墨烯箔(210)具有压电性能。在一些实施例中，提供了一种方法，所述方法包括：由装置(200)的至少一个输入电极(202、204)接收射频信号；向装置(200)提供用于对装置(200)的谐振频率进行调谐的偏置电压；以及由具有压电性能的石墨烯箔(210)将射频信号的至少一部分转变成机械能。
- 振荡电路、振荡器及其控制方法、电子设备、移动体-201510107972.5
- 渡边徹;二村良彦 - 精工爱普生株式会社
- 2015-03-12 - 2015-10-14 - H03H9/24
- 提供振荡电路、振荡器及其控制方法、电子设备、移动体，即使在低电压下也能够进行振荡动作。振荡电路(1)构成为具有：电压生成部(10)，其具有接受脉冲信号(Vp)的提供而进行动作的升压电路(11)，并将使所输入的基准电压(Vref)升压而生成的偏置电压(Vb)输出到振子(100)；时钟脉冲信号生成部(20)，其生成并输出时钟脉冲信号(Vcp)；以及开关部(30)，其在第1状态和第2状态之间切换，在第1状态中，将时钟脉冲信号(Vcp)作为向升压电路(11)输入的脉冲信号(Vp)，在第2状态中，将从振子(100)振荡出的信号(Vosc)作为所述脉冲信号(Vp)。
- 一种利用双谐振单元抵消馈通量的MEMS压电谐振器-201510206387.0
- 鲍景富;李昕熠;张超;黄裕霖;陈兆隽;秦风;安佳琪;张翼 - 电子科技大学
- 2015-04-28 - 2015-08-05 - H03H9/24
- 本发明属于微机械系统(MEMS)器件设计制造领域，提出了一种降低馈通电容影响的MEMS压电谐振器，包括差分输入/输出结构和两个MEMS压电谐振单元；其特征在于，所述两个MEMS压电谐振单元中，一个在硅基底及二氧化硅绝缘层上对应于振动块和支撑梁的位置刻蚀有空腔，另一个未开设有空腔。与传统的MEMS谐振器相比，该结构通过引入差分输入/输出结构，使两个谐振器的馈通信号在输出端实现相减进而产生抵消作用，从而实现降低馈通电容影响的作用，提高谐振器的能量转换效率，使其具有更好的选频特性，并抑制谐振器的输出杂散。
- MEMS谐振器-201420148846.5
- 何昭文 - 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
- 2014-03-28 - 2015-03-18 - H03H9/24
- 本实用新型提供了一种MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：锚部；围绕所述锚部，并且与所述锚部连接的质量块，所述质量块中开设有多个孔径；及围绕所述质量块，并且与所述质量块具有一定间隙的电极。在本实用新型提供的MEMS谐振器中，所述MEMS谐振器的频率可由质量块中开设的多个孔径予以改变。由此当需要不同频率的MEMS谐振器时，只需选取不同数量/大小的孔径即可，即通过改变MEMS谐振器的设计结构即可实现。相对于现有技术中，要得到不同频率的MEMS谐振器需要对MEMS谐振器的制造工艺做出改变而言，通过本实用新型的MEMS谐振器更加易于得到不同的频率。
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