[发明专利]扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法有效
| 申请号： | 201610773686.7 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106483337B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 渡边将史;上野利浩;伊藤晋;长谷川晶一 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 闫小龙;刘春元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法。提供能够使用配置于扫描探针显微镜的物镜来自动地进行光杠杆的光轴调整的扫描探针显微镜和其光轴调整方法。是一种扫描探针显微镜（100），所述扫描探针显微镜（100）具备：悬臂支承部（11），以规定的安装角（θ）安装悬臂（4）；移动机构（21），对悬臂的位置进行调整；光源部（1），照射检测光（L0）；检测部（6），对检测光（L1）进行检测来对悬臂的移位进行检测；以及物镜（17），对悬臂的附近进行观察或拍摄，所述扫描探针显微镜（100）还具备控制单元（40），对使用物镜拍摄的检测光的光斑光的光斑位置（G1）进行检测，接着，对使用物镜拍摄的悬臂的位置（G2）进行检测，基于光斑位置、悬臂的位置、检测光（L0）的入射角（φ）、以及安装角，对移动机构进行控制，以使在将悬臂安装于悬臂支承部时在反射面反射检测光。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 光轴 调整 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描探针显微镜，具备：悬臂，设置有与样品的表面接近的探针；悬臂支承部，相对于水平面以规定的安装角安装所述悬臂；移动机构，对所述悬臂的位置进行调整；光源部，照射检测光；检测部，对在设置于所述悬臂的反射面反射的所述检测光进行检测来对所述悬臂的移位进行检测；以及物镜，与所述悬臂相对地配置，对该悬臂的附近进行观察或拍摄，所述扫描探针显微镜的特征在于，还具备控制单元，在未将所述悬臂安装于所述悬臂支承部的状态下，对使用所述物镜拍摄的所述检测光的光斑光的光斑位置进行检测，接着，对使用所述物镜拍摄的所述悬臂的位置进行检测，基于所述光斑位置、所述悬臂的位置、所述检测光的入射角、以及所述安装角，对所述移动机构进行控制，以使在将所述悬臂安装于所述悬臂支承部时在所述反射面反射所述检测光。
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