[发明专利]扫描式激光诱导光谱面范围分析检测系统有效
| 申请号： | 201610975941.6 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN106568762B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 赵天卓;连富强;貊泽强;林蔚然;刘洋;聂树真;肖红;张鸿博;樊仲维 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李阳;李浩 |
| 地址： | 100094 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描式激光诱导光谱面范围分析检测系统，激光发射头与外置的激光诱导光源连接，外置的激光诱导光源产生激光，经激光发射头将激光发射，实现激光诱导等离子的发生。调焦光学装置将激光发射头发射的诱导激励的激光束汇聚到被测样品表面上。之后，反射镜采集被测样品的宽光谱范围诱导等离子体散射光信号汇聚到收光装置中。所述的收光装置将诱导等离子体散射光汇聚到光纤中，并传输给外置的光谱仪，该外置的光谱仪对等离子体形成的光谱进行分光，获得不同波长光谱强度数据。因此，本发明同光学轴实现数百纳米宽范围光谱采集，能够承载焦耳级大能量激光诱导，效率高至90％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 激光诱导 诱导 外置 激光发射头 光谱 等离子体 扫描式激光 光谱仪 被测样品 范围分析 检测系统 收光装置 等离子体形成 汇聚 散射光汇聚 散射光信号 波长光谱 光谱采集 光学装置 光源产生 激光发射 强度数据 等离子 大能量 反射镜 光学轴 激光束 宽光谱 调焦 分光 光源 激光 光纤 采集 承载 传输 发射 | ||
【主权项】：
1.一种扫描式激光诱导光谱面范围分析检测系统，其特征在于，包括调焦光学装置、反射镜、激光反射镜、收光装置以及激光发射头；其中，所述激光发射头与外置的激光诱导光源连接，外置的激光诱导光源产生激光，经所述激光发射头将激光发射，实现激光诱导等离子的发生；所述激光反射镜反射诱导激光，并且与所述调焦光学装置同轴；所述调焦光学装置将经所述激光反射镜反射的诱导激光汇聚到被测样品表面上；被测样品的宽光谱范围诱导等离子体散射光信号经所述调焦光学装置整形后，由所述反射镜采集汇聚到所述收光装置中，所述的收光装置将诱导等离子体散射光汇聚到光纤中，并传输给外置的光谱仪，该外置的光谱仪对等离子体形成的光谱进行分光，获得不同波长光谱强度数据；所述反射镜上有孔或者前部有空间来放置所述激光反射镜，实现激光反射镜反射的诱导激光与采集到的光谱信号光同轴。
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