[发明专利]翘板式电容差分传感器及传感系统

摘要

本发明公开了一种翘板式电容差分传感器及传感系统，该传感器包括：目标件、探针和两个感应件，探针与目标件固连，目标件连接在转动连接部上，转动连接部与两个感应件限制相对移动地固定连接，以将以上各组件连接形成一个结构整体；该结构整体通过两个感应件各自与目标件形成一个单极电容；该结构整体被设置为使得目标件在接收到作用力时绕转动连接部转动至对应的平衡位置，且转动使得两个单极电容的极板间距发生大小相等、且方向相反的变化，以输出差分信号。本发明传感器的结构可以实现高分辨率以满足微操作领域的要求，而且结构简单，易于加工制造。

主权项

1.一种翘板式电容差分传感器，其特征在于，包括差分信号输出端、接地端、目标件、探针、转动连接部和两个感应件，所述两个感应件与所述差分信号输出端对应连接；所述探针与所述目标件固定连接，以向所述目标件传递作用力；所述目标件连接在所述转动连接部上、且与所述接地端连接；所述转动连接部与所述两个感应件限制相对移动地固定连接，以将所述目标件、所述转动连接部和所述两个感应件连接形成一个结构整体；所述结构整体通过所述两个感应件各自与所述目标件组成一个单极电容；所述结构整体被设置为使得所述目标件在接收到所述作用力时绕所述转动连接部转动至对应的平衡位置，且所述转动使得所述两个单极电容的极板间距产生大小相等、方向相反的变化，以经由所述差分信号输出端输出差分信号。