[发明专利]智能功率模块的制备方法、智能功率模块和电力电子设备

摘要

本发明提供了一种智能功率模块的制备方法、智能功率模块和电力电子设备，其中，智能功率模块的制备方法包括：在基板的正侧形成隔离槽，以将基板划分为隔离的第一区域和第二区域；在第一区域上形成高智能功率模块，高智能功率模块包括MOSFET、IGBT和快速恢复二极管；在第二区域上形成低智能功率模块，低智能功率模块包括高速集成控制电路；在高智能功率模块和低智能功率模块之间形成邦定线。通过本发明技术方案，降低了高智能功率模块对低智能功率模块的热干扰，在不提高生产成本的前提下，进一步地提升了智能功率模块的可靠性和热稳定性。

主权项

一种功率模块的制备方法，其特征在于，包括：在基板的正侧形成隔离槽，以将所述基板划分为隔离的第一区域和第二区域；在所述第一区域上形成高功率器件，所述高功率器件包括MOSFET、IGBT和快速恢复二极管；在所述第二区域上形成低功率器件，所述低功率器件包括高速集成控制电路；在所述高功率器件和所述低功率器件之间形成邦定线。