[实用新型]一种载气汇流排的清洗系统

摘要

本实用新型公开了一种载气汇流排的清洗系统，涉及气体分配领域，包括主管道、真空泵、排气管和复数个隔离阀，主管道的进气端与至少一汇流排相连接，出气端与车间设备相连接，真空泵和排气管均通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀。本实用新型的有益效果通过真空泵对主管道和分支管道进行抽真空处理，再关闭真空泵和其隔离阀，同时打开汇流排的隔离阀以及排气管的单向阀和排气阀，让载气通入主管道和各分支管道，对残留的空气和杂质进行稀释处理，并从排气管中排出；多次重复抽真空处理和通气处理，以去除主管道和各分支管道中的杂质，保证各管道的洁净度和载气的纯净度。该系统弥补了载气连接时，对管道进行清洗的空缺。

主权项

一种载气汇流排的清洗系统，其特征在于：包括主管道、真空泵、排气管和复数个隔离阀，所述主管道的进气端与至少一汇流排相连接，出气端与车间设备相连接，所述主管道设有复数个分支管道，所述真空泵通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀，所述排气管通过一分支管道与主管道相连接并配设有隔离阀和从主管道通至排气管的单向阀。