[发明专利]研磨头的制造方法、研磨头以及研磨装置

摘要

本发明的研磨头的制造方法，包含下列步骤：于中板的下端面形成自非压缩性流体的注入口延伸至中板的外周部的沟槽与自空气的排出口延伸至中板的外周部的沟槽；在刚性环的下端面贴附弹性膜并且将刚性环的上端面与中板的下端面结合后将空间部内减压；在减压步骤后，自注入口注入非压缩性流体至空间部的同时，自排出口排出空间部内的空气，通过封闭注入口与排出口将非压缩性流体封装于空间部。因此在制造于空间部封装非压缩性流体的研磨头的情况下，作业性佳，易于控制非压缩性流体量，并且能降低残留在空间部的空气量。

主权项

1.一种研磨头的制造方法，该研磨头具有环状的刚性环、以平均的张力而贴附于该刚性环的下端面的弹性膜、结合于该刚性环的上端面的圆盘状的中板、通过该中板的下端面与该弹性膜的上表面与该刚性环的内周面所区划出的空间部以及被封装于该空间部的非压缩性流体，其中于该弹性膜的下面部支承晶圆的背面的同时，使该晶圆的表面滑接于贴附在平盘上的研磨布而进行研磨，其中在将该中板结合于该刚性环的上端面之前，包括下列步骤：于该中板形成用于注入该非压缩性流体至该空间部的注入口以及用于在该非压缩性流体的注入时自该空间部排出空气的排出口；以及于该中板的下端面分别形成自该注入口延伸至该中板的外周部的沟槽以及自该排出口延伸至该中板的外周部的沟槽；以及其中在通过于该刚性环的下端面贴附该弹性膜并且将该刚性环的上端面与该中板的形成有该沟槽的下端面结合而形成该空间部之后，包括下列步骤：将该空间部内减压；以及在该减压步骤之后，自该注入口注入该非压缩性流体至该空间部的同时，自该排出口排出该空间部内的空气，通过封闭该注入口与该排出口而将该非压缩性流体封装于该空间部。