[发明专利]基于配置方案间的一致性的配置方案选择有效
| 申请号： | 201680048724.0 | 申请日： | 2016-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN107924137B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | A·J·登鲍埃夫;T·D·戴维斯;P·D·恩布卢姆;K·巴塔查里亚 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种方法，所述方法包括：确定多个衬底测量配置方案中的一个衬底测量配置方案与该多个衬底测量配置方案中的每个另一衬底测量配置方案之间的配置方案一致性；计算所述配置方案一致性的函数；如果所述函数符合标准，则从所述多个衬底测量配置方案去除所述一个衬底测量配置方案；和重复所述确定、计算以及去除步骤直至符合终止条件为止。本发明中也公开了一种衬底测量设备，所述衬底测量设备包括：储存器，配置成储存多个衬底测量配置方案；和处理器，配置成基于所述多个衬底测量配置方案之间的配置方案一致性从所述多个衬底测量配置方案选择一个或更多个衬底测量配置方案。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 配置 方案 一致性 选择 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：基于衬底上的多个区域处的通过使用多个衬底测量配置方案所获得的特性的值，来确定在从所述多个衬底测量配置方案所选择的衬底测量配置方案的多个子集中的每一个内的配置方案一致性；和基于所述配置方案一致性，从所述多个衬底测量配置方案选择衬底测量配置方案。
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