[发明专利]一种用于优化激光修调的测试结构及激光修调方法有效
| 申请号： | 201710050816.9 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108346647B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 林昌全;李进;李国成;罗丙寅 | 申请（专利权）人： | 华润矽威科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L23/525;H01L21/768;H01L21/66 |
| 代理公司： | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201103 上海市闵行区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于优化激光修调的测试结构及激光修调方法，包括：发送测试信号并根据反馈的性能参数的值产生相应的预配置码和配置码的测试及配置码计算存储模块；在修调阶段，根据配置码对各激光熔丝模块进行烧断或保留，以对相应性能参数的值进行修调的激光熔丝模块；在测试阶段接收所有预配置码，在修调阶段接收熔丝值的转换接口；以及内部电路。本发明在测试机台上获得晶圆上所有芯片的配置码后移至修调机台，只需进行一次激光修调便可完成所有性能参数的修调，无需频繁上下电，大大节省测试时间，进而减小测试成本和生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 激光修调 性能参数 测试结构 激光熔丝 配置 预配置 机台 测试 测试成本 测试机台 测试阶段 测试信号 计算存储 内部电路 转换接口 上下电 后移 减小 晶圆 熔丝 烧断 生产成本 优化 发送 芯片 反馈 保留 | ||
【主权项】：
1.一种用于优化激光修调的测试结构，其特征在于，所述用于优化激光修调的测试结构至少包括：/n测试及配置码计算存储模块、激光熔丝模块、转换接口以及内部电路；/n所述测试及配置码计算存储模块连接所述内部电路、所述激光熔丝模块以及所述转换接口，用于向所述内部电路发送测试信号，并根据所述内部电路反馈的性能参数的值产生相应的预配置码和配置码，并将所述预配置码及所述配置码分别发送到所述转换接口及所述激光熔丝模块；/n所述激光熔丝模块连接于所述测试及配置码计算存储模块的输出端，在修调阶段，根据所述配置码对各激光熔丝模块进行烧断或保留，以对相应性能参数的值进行修调；/n所述转换接口连接于所述测试及配置码计算存储模块及所述激光熔丝模块的输出端，在测试阶段，接收所述测试及配置码计算存储模块中存储的所有预配置码，进而得到当前测试的性能参数的预配置码；在修调阶段，接收所述激光熔丝模块输出端的熔丝值，进而改变性能参数的值；/n所述内部电路连接所述转换接口的输出端，根据所述转换接口提供的配置信息进行性能参数的测试和修调。/n
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