[发明专利]一种光栅尺的误差补偿系统及方法

摘要

本发明公开了一种光栅尺的误差补偿系统及方法，其中光栅尺的误差补偿系统包括底座、气浮滑动装置和激光干涉仪，底座包括第一平台、第二平台和第三平台，第二平台的顶面设有光栅尺；气浮滑动装置包括半包围滑块和气浮块，半包围滑块的顶面设有光栅尺读数头；激光干涉仪包括设置在同一水平面的激光头、分光镜以及反光镜。本发明，将光栅尺的行程范围内设置K个点，通过激光干涉仪依次测量两相邻点之间的距离，同时通过光栅尺测量该两相邻点之间的距离，得到两者之间的测量数值差，进而进行误差分段线性拟合，再得到该段距离内的修正系数，进而得到全程范围内的修正系数，输出给后序电子设备，进而提高了光栅线位移测量装置的测量精度。

主权项

一种光栅尺的误差补偿系统，其特征在于，包括：底座，包括第一平台和平行设置在所述第一平台的顶面的第二平台和第三平台，所述第二平台的顶面沿着其长度方向设有光栅尺；气浮滑动装置，包括设置在所述第三平台的外周面的半包围滑块和设置在所述半包围滑块的内壁上的各气浮块，所述半包围滑块在驱动装置的作用下，带动各所述气浮块在所述第三平台的外周面做直线运动，所述半包围滑块的顶面设有光栅尺读数头，所述光栅尺与所述光栅尺读数头设置在同一水平面内；激光干扰仪，包括设置在激光头支架上的激光头、设置在所述第三平台的顶面靠近所述激光头的一侧的分光镜以及设置在所述半包围滑块的顶面的反光镜，所述激光头、分光镜和反光镜的中心设置在同一水平面内。