[发明专利]一种宽量程高精度集成双膜电容式压力传感器及制作方法有效
| 申请号： | 201710630396.1 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107389230B | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 秦明;王振军;龙克文;何华娟 | 申请（专利权）人： | 佛山市川东磁电股份有限公司;东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 肖平安 |
| 地址： | 528500 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及压力传感器技术领域，特指一种宽量程高精度集成双膜电容式压力传感器及制作方法，包括玻璃衬底，玻璃衬底上设有浅槽一与浅槽二，浅槽一与浅槽二通过细槽连通，浅槽二中心位置设有浅槽通孔，浅槽通孔从浅槽二底面延至玻璃衬底底面，浅槽一上设有可测量低压差的电容C1，浅槽二上设有可测量高压差的电容C2，可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜，可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板，浅槽通孔通过细槽与可测量低压差的电容C1对应设置，浅槽通孔通过浅槽二与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明通过可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了压力在低压段与高压段的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 高精度 集成 电容 压力传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种宽量程高精度集成双膜电容式压力传感器，其特征在于：包括玻璃衬底(8)，所述玻璃衬底(8)上设有浅槽一(80)与浅槽二(81)，所述浅槽一(80)与浅槽二(81)通过细槽(82)连通，所述浅槽二(81)中心位置设有浅槽通孔(83)，所述浅槽通孔(83)从浅槽二(81)底面延至玻璃衬底(8)底面，所述浅槽一(80)上设有可测量低压差的电容C1，所述浅槽二(81)上设有可测量高压差的电容C2，所述可测量低压差的电容C1包括底电极板(1)与薄压力敏感膜(2)，所述可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜(4)与顶电极板(5)，所述浅槽通孔(83)通过细槽(82)与可测量低压差的电容C1对应设置，所述浅槽通孔(83)通过浅槽二(81)与可测量高压差的电容C2对应设置；所述底电极板(1)覆盖于浅槽一(80)底面上，所述薄压力敏感膜(2)左侧覆盖于玻璃衬底(8)上表面，所述薄压力敏感膜(2)右侧设有薄压力敏感膜通孔(20)，所述薄压力敏感膜通孔(20)与浅槽二(81)的槽壁齐平设置，所述薄压力敏感膜(2)左侧通过第一支撑材料(6)间隔设有形变阻挡膜(3)，所述形变阻挡膜(3)左侧设有形变阻挡膜通孔(30)，所述形变阻挡膜(3)右侧设有厚压力敏感膜(4)，所述厚压力敏感膜(4)覆盖于第一支撑材料(6)上，所述顶电极板(5)通过第二支撑材料(7)间隔设于厚压力敏感膜(4)上方，所述顶电极板(5)上设有顶电极板通孔(50)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市川东磁电股份有限公司;东南大学，未经佛山市川东磁电股份有限公司;东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710630396.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种陶瓷电容压力传感器
- 下一篇：一种高精度便携式煤矿瓦斯突出预测仪
