[发明专利]一种PZT/Si扩散键合装置有效
申请号: | 201710653811.5 | 申请日: | 2017-08-03 |
公开(公告)号: | CN107611254B | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 王大志;石鹏;慈元达;周鹏;凌四营;任同群;梁军生;韦运龙 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | H01L41/312 | 分类号: | H01L41/312;B81C3/00 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 温福雪;侯明远 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供了一种PZT/Si扩散键合装置,属于先进制造技术领域。一种PZT/Si扩散键合装置,包括基座、螺栓紧固件、压块、挠性压板及螺母紧固件;所述的基座的中心处加工有矩形通槽,用于放置待键合的PZT元件和硅衬底;所述的压块置于待键合的PZT元件和硅衬底上,用于压紧待键合的PZT元件和硅衬底于矩形通槽中;所述的挠性压板通过螺栓紧固件和螺母紧固件固定在基座上,并压紧放置于矩形通槽内的压块。此装置可保证PZT元件与硅片间键合压力均匀,使PZT/Si扩散键合充分,提高键合强度和键合质量,此外,此装置具有结构简单、易于操作等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 pzt si 扩散 装置 | ||
【主权项】:
1.一种PZT/Si扩散键合装置,其特征在于,所述的PZT/Si扩散键合装置包括基座(1)、螺栓紧固件(2)、压块(3)、挠性压板(4)及螺母紧固件(7);所述的基座(1)的中心处加工有矩形通槽,用于放置待键合的PZT元件(5)和硅衬底(6);所述的压块(3)置于待键合的PZT元件(5)和硅衬底(6)上,用于压紧待键合的PZT元件(5)和硅衬底(6)于矩形通槽中;所述的挠性压板(4)通过螺栓紧固件(2)和螺母紧固件(7)固定在基座(1)上,并压紧放置于矩形通槽内的压块(3);所述的PZT元件(5)由PZT块材、电极和PZT膜组成,PZT膜侧为键合面。
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