[发明专利]高耦合低杂质的双环型离子回旋天线在审

专利信息
申请号: 201711383084.1 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN108601190A 公开(公告)日: 2018-09-28
发明(设计)人: 杨桦;张新军;秦成明;袁帅;赵燕平 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: H05H1/18 分类号: H05H1/18
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 余成俊
地址: 230031 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种高耦合低杂质的双环型离子回旋天线,包括有呈水平设置的背板以及呈倾斜设置的四条双环型电流条带、法拉第屏蔽罩和天线外框,天线外框固定连接在背板的前侧,法拉第屏蔽罩固定连接在天线外框的前侧,四条双环型电流条带分别呈竖向固定安装在背板的前侧,呈2×2阵列状分布,位于天线外框中,并位于背板与法拉第屏蔽罩之间,背板的后侧分别设有与四条双环型电流条带相对应的四个功率馈入端口。本发明通过对天线结构和波谱的优化设计,能够在较低密度情况下有效提高离子回旋天线的耦合阻抗,将更多的功率传输到等离子体中心,从而提高了等离子体温度,且天线的倾斜设计,降低了天线引起的射频电势,进而减少天线引起的杂质问题。
搜索关键词: 天线 背板 双环 外框 离子回旋天线 法拉第屏蔽 电流条 耦合 低杂质 等离子体 等离子体中心 功率馈入端口 阵列状分布 功率传输 倾斜设置 竖向固定 水平设置 天线结构 优化设计 杂质问题 耦合阻抗 波谱 电势 射频
【主权项】:
1.一种高耦合低杂质的双环型离子回旋天线,包括有四条双环型电流条带、背板、法拉第屏蔽罩和天线外框,其特征在于:所述的背板呈水平设置,所述的天线外框固定连接在所述背板的前侧,所述的法拉第屏蔽罩固定连接在所述天线外框的前侧,所述的四条双环型电流条带分别呈竖向固定安装在所述背板的前侧,呈2×2阵列状分布,位于所述的天线外框中,并位于所述背板与所述法拉第屏蔽罩之间,所述的四条双环型电流条带、法拉第屏蔽罩和天线外框均沿水平方向呈倾斜设置,所述背板的后侧分别设有与所述四条双环型电流条带相对应的四个功率馈入端口。
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