[实用新型]一种硅片加热扩散炉有效
申请号: | 201721467033.2 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN207596995U | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 赵阿强 | 申请(专利权)人: | 重庆长捷电子有限公司 |
主分类号: | C30B31/02 | 分类号: | C30B31/02;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人: | 贾庆 |
地址: | 409100 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片加热扩散炉,包括炉体和设置于炉体内的多根炉管,炉体上设有控制柜,炉管相互间隔的横向装设于炉体内,且炉管的两端设为炉口和炉尾,且炉口和炉尾于炉体上设有炉门。炉管的炉口、炉尾和炉管的中部分别设有加热元件,炉管内设有石英层,且炉管的炉口和炉尾的外表面分别套设有石棉垫和石棉圈,控制柜实时监控和控制炉体内的温度。本实用新型的炉口和炉尾的外表面分别套设有石棉垫和石棉圈,进而可达到对炉口和炉尾保温的作用,防止其散热导致炉口、炉尾和炉管的中部三点温度不一致影响产品质量,因此,本实用新型采用上述结构不仅可以保证产品质量,还可以防止炉口和炉尾因散热导致炉门处温度过高导致变形的情况。 | ||
搜索关键词: | 炉口 炉尾 炉管 本实用新型 炉体 控制柜 扩散炉 石棉垫 石棉圈 体内 散热 硅片 炉门 加热 多根炉管 横向装设 加热元件 实时监控 温度过高 影响产品 变形的 不一致 控制炉 石英层 保温 保证 | ||
【主权项】:
1.一种硅片加热扩散炉,其特征在于:包括炉体(1)和设置于炉体(1)内的多根炉管(2),所述炉体(1)上设有控制柜(3),所述炉管(2)相互间隔的横向装设于所述炉体(1)内,且炉管(2)的两端设为炉口(2a)和炉尾(2b),且所述炉口(2a)和炉尾(2b)于所述炉体(1)上设有炉门(4),所述炉管(2)的炉口(2a)、炉尾(2b)和炉管(2)的中部分别设有加热元件(5),所述炉管(2)内设有石英层(6),且炉管(2)的炉口(2a)和炉尾(2b)的外表面分别套设有石棉垫(7)和石棉圈(8),所述控制柜(3)实时监控和控制炉体(1)内的温度。
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