[发明专利]用均匀碳纳米管薄膜进行太赫兹检测和光谱分析有效
| 申请号： | 201780017029.2 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN108885172B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | A·法尔克;D·B·法默;汉述仁 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 于静;杨晓光 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 检测器及其形成方法包括将半导体碳纳米管平行排列在基板上以形成纳米管层(208)。将纳米管层中的排列的半导体碳纳米管切割成对应于检测频率的一致的长度(216)。在纳米管层的相对端形成金属触点(218)。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 纳米 薄膜 进行 赫兹 检测 光谱分析 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成检测器的方法，包括：将多个半导体碳纳米管平行排列在基板上以形成纳米管层；将所述纳米管层中排列的多个半导体碳纳米管切割成对应于检测频率的一致的长度；以及在所述纳米管层的相对端形成金属触点。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780017029.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
