[发明专利]传感器元件控制装置、物理量传感器及其故障诊断方法有效
申请号: | 201810177778.8 | 申请日: | 2018-03-05 |
公开(公告)号: | CN108627147B | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 松川典仁 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56;G01C19/5642;G01C19/5663;G01C25/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 邓毅;马建军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 传感器元件控制装置、物理量传感器及其故障诊断方法。本发明提供一种传感器元件控制装置,即使驱动振幅电平变化,也能够在降低对物理量的检测精度产生的影响的同时进行故障诊断。能够与具有驱动部和检测部的传感器元件连接的传感器元件控制装置具有:驱动电路,其向所述驱动部输出驱动信号;检测电路,其根据从所述检测部输出的信号生成检测信号;诊断信号生成电路,其生成具有失调频率的诊断信号,该失调频率是所述驱动部进行振动的频率即驱动频率与所述检测部进行振动的频率即检测频率之差的频率;以及故障诊断电路,其根据在所述驱动信号中叠加有所述诊断信号时从所述检测部输出的信号进行故障诊断。 | ||
搜索关键词: | 传感器 元件 控制 装置 物理量 及其 故障诊断 方法 | ||
【主权项】:
1.一种传感器元件控制装置,该传感器元件控制装置能够与具有驱动部和检测部的传感器元件连接,该传感器元件控制装置具有:驱动电路,其向所述驱动部输出驱动信号;检测电路,其根据从所述检测部输出的信号生成检测信号;诊断信号生成电路,其生成具有失调频率的诊断信号,该失调频率是所述驱动部进行振动的频率即驱动频率与所述检测部进行振动的频率即检测频率之差的频率;以及故障诊断电路,其根据在所述驱动信号中叠加有所述诊断信号时从所述检测部输出的信号进行故障诊断。
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