[发明专利]一种金属离子源及其使用方法有效
| 申请号： | 201810203297.X | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108456862B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘锦云;金应荣;贺毅;刘胜明;曹仁发;廖榆文;彭潘;曾国兴;杨阳;陈英 | 申请（专利权）人： | 西华大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王宁宁 |
| 地址： | 610036 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于表面工程技术领域，具体涉及一种金属离子源及其使用方法。本发明提供的金属离子源，阴极管的管壁开有第一通孔，空心阴极放电在第一通孔中进行。用作阳极的内芯设置在阴极管内部，便于在阳极与阴极之间产生由中心到边缘的径向电场，溅射离子在该电场的作用下被加速后轰击阴极，从阴极溅射出来的金属离子沿径向飞出，垂直入射到细长管零件的内表面。本发明提供的金属离子源，能在轴向均匀地供给细长管内表面金属离子；有利于提高膜基结合力；能调控放电区域的位置，便于在设计要求的区域进行内表面改性，能避免大面积的放电，便于控制内孔零件的温度。金属离子源的使用方法基于上述的金属离子源，因此也具备有上述的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 金属离子源 阴极 阳极 金属离子 内表面 细长管 阴极管 通孔 表面工程技术 空心阴极放电 膜基结合力 内表面改性 垂直入射 放电区域 径向电场 内孔零件 阴极溅射 电场 放电 管壁 溅射 内芯 轴向 轰击 离子 调控 | ||
【主权项】：
1.一种金属离子源，其特征在于，包括：/n用作阳极的内芯；/n用作阴极的阴极管，所述阴极管环设于所述内芯外侧，所述阴极管的侧壁上开设有宽度为5～10mm的至少一个第一通孔；/n内屏蔽管，所述内屏蔽管设置于所述内芯与所述阴极管之间，所述内屏蔽管内周壁与所述内芯外周壁形成第一间隙，所述内屏蔽管外周壁与所述阴极管内周壁形成第二间隙，所述内屏蔽管的侧壁上开设有至少一个第二通孔；/n外屏蔽管，所述外屏蔽管环设于所述阴极管外侧，所述外屏蔽管内周壁与所述阴极管外周壁形成第三间隙，所述外屏蔽的侧壁上开设有至少一个第三通孔；/n其中，所述第一通孔、所述第二通孔以及所述第三通孔形状相同，尺寸相同，数量相同，且在轴向位置上一一对应，在周向位置上也一一对应；/n其中，所述内屏蔽管外周壁与所述阴极管内周壁之间的距离为2～4mm，所述外屏蔽管内周壁与所述阴极管外周壁之间的距离为2～4mm。/n
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