[发明专利]研磨垫及研磨垫使用寿命监测方法在审
| 申请号： | 201810502527.2 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108608317A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 方青春;蒋阳波;杨俊铖;闵源;李大鹏;刘慧超 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;G01M13/00;G01B21/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈力奕 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供能实时监测使用状况并能第一时间获得达到使用寿命的信息的研磨垫及研磨垫的使用寿命监测方法。研磨垫(1)包括：厚度方向的一个面为研磨面的基材(20)；形成于基材(20)的研磨面一侧并朝向研磨面开口的沟槽(21)；以及形成于基材(20)的研磨面一侧、朝向研磨面开口、垂直于研磨面的至少一个截面在距离窗口(22)的底部一定高度处的宽度是高度的增函数或减函数的窗口(22)。在使研磨垫(1)旋转来进行研磨加工时，对窗口(22)的截面在研磨面处的宽度进行监测，当窗口(22)的截面在研磨面处的宽度随着研磨面的磨损量的增加而达到宽度临界值时，判断为研磨垫(1)达到使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 研磨面 研磨 基材 使用寿命监测 使用寿命 开口 临界值时 实时监测 研磨加工 磨损量 垂直 监测 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，其特征在于，包括：基材，该基材的厚度方向的一个面为研磨面；以及窗口，该窗口形成于所述基材的所述研磨面一侧，朝向所述研磨面开口，所述窗口的垂直于所述研磨面的至少一个截面在距离所述窗口的底部一定高度处的宽度是所述高度的增函数或减函数。
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