[发明专利]闪存浮栅极板间电容的晶圆允收测试图形有效
| 申请号： | 201810554473.4 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108807342B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 张金霜;田志;齐瑞生;邹荣 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L27/11519;H01L27/11521 |
| 代理公司： | 31211 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭四华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 201315上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种闪存浮栅极板间电容的晶圆允收测试图形，包括：多个呈条形结构且平行排列的有源区，在各有源区的正上方都设置有一条对应的浮栅，浮栅和有源区俯视面结构相同且自对准；控制栅，覆盖在晶圆允收测试图形区域内并呈一整块结构；两条以上金属线，各金属线呈和有源区垂直的条形结构且平行排列；金属线分成第一和二电极金属线并连接到第一和二衬垫；将浮栅按顺序编号，奇数编号的各浮栅通过通孔连接顶部对应的第一电极金属线，偶数编号的各浮栅通过通孔连接顶部对应的第二电极金属线。本发明能提高闪存浮栅极板间电容的测量的准确性以及具有成本较低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 金属线 浮栅 源区 允收测试 栅极板 电容 晶圆 闪存 条形结构 通孔 第二电极 第一电极 电极金属 图形区域 整块结构 垂直的 俯视面 控制栅 自对准 测量 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种闪存浮栅极板间电容的晶圆允收测试图形，其特征在于，包括：/n多个有源区，所述有源区呈条形结构且平行排列，所述有源区通过场氧对半导体衬底隔离而成；/n多条浮栅，在各所述有源区的正上方都设置有一条对应的所述浮栅，所述浮栅和对应的所述有源区俯视面结构相同且自对准；/n控制栅，覆盖在晶圆允收测试图形区域内的各所述浮栅的顶部并延伸到各所述浮栅周侧的所述场氧上并呈一整块结构；/n两条以上金属线，各所述金属线呈条形结构且平行排列，且各所述金属线的长度方向和所述有源区的长度方向垂直；/n所述金属线分成第一电极金属线和第二电极金属线，所述第一电极金属线都连接到第一衬垫，所述第二电极金属线都连接到第二衬垫；/n将所述浮栅按顺序编号，奇数编号的各所述浮栅通过通孔连接顶部对应的所述第一电极金属线，偶数编号的各所述浮栅通过通孔连接顶部对应的所述第二电极金属线。/n
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