[发明专利]一种草酸铟溶解剂组合物及蚀刻设备的清洗工艺在审
| 申请号： | 201811298245.1 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109234072A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 徐杨;邵勇;陈林;承明忠;李涛;殷福华;赵文虎;朱龙 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/06 | 分类号： | C11D7/06;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/12;C11D7/16;C11D7/26;C11D7/32;B08B3/08 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种草酸铟溶解剂组合物，主要组分包含碱性组分、螯合剂、pH值调节剂和水，草酸铟溶解剂组合物的pH值为8～12；碱性组分为选自能电离生成K+的强碱弱酸盐中的一种或两种以上的组合，或者由季铵碱与至少一种能电离生成K+的强碱弱酸盐组合而成。本发明草酸铟溶解剂组合物优化了碱性组分的选择范围，碱性组分为选自能电离生成K+的强碱弱酸盐中的一种或两种以上的组合，或者由季铵碱与至少一种能电离生成K+的强碱弱酸盐组合而成，减少了草酸铟溶解剂中强碱的使用量，组合物更趋温和，蚀刻设备的清洗更环保安全。 | ||
| 搜索关键词： | 溶解剂组合物 强碱弱酸盐 电离 草酸铟 蚀刻设备 季铵碱 酸铟 种草 环保安全 清洗工艺 溶解剂 中强碱 螯合剂 清洗 优化 | ||
【主权项】：
1.一种草酸铟溶解剂组合物，其特征在于，主要组分包含碱性组分、螯合剂、pH值调节剂和水，草酸铟溶解剂组合物的pH值为8～12；碱性组分为选自能电离生成K+的强碱弱酸盐中的一种或两种以上的组合，或者由季铵碱与至少一种能电离生成K+的强碱弱酸盐组合而成。
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