[发明专利]一种氧化镍-锆酸铅反铁电复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201811432139.8 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109487220B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 宁兴坤;陈明敬;孟庆刚;王淑芳;李晓苇;杨昆;傅广生 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人： | 黄慧慧 |
| 地址： | 071002 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氧化镍‑锆酸铅反铁电复合薄膜及其制备方法，所述氧化镍‑锆酸铅反铁电复合薄膜材料包括锆酸铅薄膜和氧化镍，所述氧化镍呈纳米柱结构且分布在所述锆酸铅中，所述氧化镍的体积为所述复合薄膜材料的1~20%；所述氧化镍‑锆酸铅反铁电复合薄膜材料是采用脉冲激光沉积法制得的。本发明复合薄膜材料的制备工艺简单，氧化镍纳米柱的直径、分布、厚度精确可控，所得氧化镍‑锆酸铅反铁电复合薄膜兼具良好的储能密度、铁电性能和介电性能，有效提高了复合薄膜材料的综合性能，且生产成本低，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 锆酸铅反铁电 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化镍‑锆酸铅反铁电复合薄膜材料，其包括锆酸铅薄膜和氧化镍，所述氧化镍呈纳米柱结构且分布在所述锆酸铅薄膜中，所述氧化镍的体积占所述复合薄膜材料的1~20%。
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