[发明专利]工作空间和洁净空间系统有效
| 申请号： | 201811517785.4 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110013890B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | S.绍茨;U.普拉赫特;F.豪贝尔 | 申请（专利权）人： | 费斯托股份两合公司 |
| 主分类号： | B01L1/04 | 分类号： | B01L1/04;B01D46/54;B01D53/22;B01D65/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 方莉;李雪莹 |
| 地址： | 德国埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在工作对象（34）上执行工作过程的工作空间，所述工作空间具有由多个相应在边缘侧上彼此连接的壁区段（4、5、6、7、8；77）限定的工作容积（3；68），其中壁区段（4、5、6、7、8；77）的至少一个内表面（12、17；42、43；74、75、76）被更换膜（18；52；62）遮盖。 | ||
| 搜索关键词： | 工作 空间 洁净 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于在工作对象（34）上执行工作过程的工作空间，所述工作空间具有工作容积（3；68），所述工作容积由多个相应在边缘侧上彼此连接的壁区段（4、5、6、7、8；77）限定，其中，所述壁区段（4、5、6、7、8；77）的面向所述工作容积（3；68）的至少一个内表面（12、17；42、43；74、75、76）被更换膜（18；52；62）遮盖，所述更换膜被构造用于容纳或粘附污垢颗粒以及被构造用于沿平行于所述壁区段（4、5、6、7、8；77）的内表面（12、17；42、43；74、75、76）的空间方向连续的或不连续的相对运动，并且所述工作空间具有这样的承载装置，所述承载装置包括承载器件（33）和支撑器件（29；80），其中布置在所述工作容积（3；68）内的承载器件（33）构造用于支撑至少一个工作对象（34），并且其中，布置在所述工作容积（3；68）外部的支撑器件（29；80）被构造用于与所述承载器件（33）无接触地相互作用，以便提供用于将所述承载器件（33）悬浮地支承在所述工作容积（3；68）中的支撑力。
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