[发明专利]一种多晶硅片生产装置

摘要

本发明涉及硅片生产领域，具体的说是一种多晶硅片生产装置，包括支撑台、储存机构、清洗机构、驱动机构、除杂机构、固定机构和接水盘；储存机构的内部居中处安装清洗机构，且储存机构的侧壁安装驱动机构，驱动机构转动连接清除机构，当清洗多晶硅片时，打开驱动机构，驱动机构带动清洗机构转动，将多晶硅片放入储存机构的内部，清洗机构转动和储存机构内部的纯净水与多晶硅片接触，将多晶硅片的表面灰尘擦净，清洗方便，且滑动或转动多晶硅片即可将多晶硅片清洗干净，从而加快多晶硅片的清洗效率；当将多晶硅片清洗干净后，将多晶硅片放入两个除杂机构之间，多晶硅片在两个除杂机构之间滑动，使除杂机构将多晶硅片表面的水擦拭干净。

主权项

1.一种多晶硅片生产装置，其特征在于：包括支撑台(1)、储存机构(2)、清洗机构(3)、驱动机构(4)、除杂机构(5)、固定机构(6)和接水盘(7)；所述支撑台(1)的顶面安装所述储存机构(2)，所述储存机构(2)的内部转动连接所述清洗机构(3)；所述储存机构(2)的侧壁安装所述驱动机构(4)，且所述驱动机构(4)与所述清洗机构(4)转动连接；所述支撑台(1)的顶面一端固定连接所述固定机构(6)，且所述固定机构(6)的侧壁转动连接所述除杂机构(5)；所述支撑台(1)的顶面安装所述接水盘(7)，且所述接水盘(7)的两端抵触所述固定机构(6)。