[发明专利]基板翻转装置有效
申请号: | 201811610652.1 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN110015557B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 西尾仁孝;高松生芳;上野勉 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B65G47/248 | 分类号: | B65G47/248 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;刘言 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 技术问题:提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板的翻转的基板翻转装置。解决方案:基板翻转装置(1)具备能够吸附基板的一对吸附部(100)、以及驱动一对吸附部(100)的驱动部(200)。其特征在于,驱动部(200)在第一位置与第二位置之间驱动一对吸附部(100),所述第一位置是一对吸附部(100)以在其与基板(F)的载置面(2c及2d)之间能够交接基板(F)的方式与载置面(2c及2d)相对的位置,所述第二位置是一对吸附部(100)以在垂直于载置面(2c及2d)的状态下能够交接基板(F)的方式彼此相对的位置。 | ||
搜索关键词: | 翻转 装置 | ||
【主权项】:
1.一种基板翻转装置,其特征在于,具备:一对吸附部,其能够吸附基板;以及驱动部,其驱动所述一对吸附部,所述驱动部在第一位置与第二位置之间驱动所述一对吸附部,所述第一位置是所述一对吸附部以能够在其与所述基板的载置面之间交接所述基板的方式与所述载置面相对的位置,所述第二位置是所述一对吸附部以在垂直于所述载置面的状态下能够交接所述基板的方式彼此相对的位置。
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