[实用新型]设置中间反射层的单晶炉有效
申请号: | 201820158387.7 | 申请日: | 2018-01-30 |
公开(公告)号: | CN207811927U | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 吴学军 | 申请(专利权)人: | 宁夏旭樱新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 周晓梅;孙彦虎 |
地址: | 753000 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 一种设置中间反射层的单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层、中间反射层,所述中间反射层设置在加热器与保温层之间,中间反射层靠近加热器的表面为光滑表面,以对加热器散发的热量进行反射,中间反射层的顶部高于加热器的顶部,中间反射层的底部低于加热器的底部,以充分阻隔加热器的热量向保温层传递散失,中间反射层为中钼筒,本实用新型中,采用中间反射层将加热器与保温层隔离,不仅将大量的热量反射至坩埚内,热量使用充分,而且避免了保温层挥发物对晶棒及加热器的影响。 | ||
搜索关键词: | 加热器 反射层 保温层 二层平台 单晶炉 炉体 热场 坩埚 挥发物 本实用新型 光滑表面 驱动部件 热量反射 安装座 外炉筒 晶棒 热屏 钼筒 反射 阻隔 隔离 散发 传递 | ||
【主权项】:
1.一种设置中间反射层的单晶炉,其特征在于:包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒,下炉筒安装在二层平台上,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层,安装座设置下炉筒内,以安装坩埚,坩埚设置在中炉筒内,加热器包围设置在坩埚的周围,以对坩埚内的物料进行加热化料,保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层,上保温层设置在热屏组件与中炉筒之间,中保温层设置在加热器与中炉筒之间,下保温层设置在安装座与下炉筒之间,驱动部件的上端穿过下炉筒的底部,以与安装座连接,进而驱动坩埚旋转和升降,所述热屏组件包括内导流筒、外导流筒、保温填充层、支撑环、压环,内导流筒为上口大、下口小的锥形筒,外导流筒为圆柱形筒,外导流筒的顶部向外翻折形成外檐,外导流筒的底部向内翻折形成内缘,内导流筒的底部卡合在外导流筒的内缘上,保温填充层填充在内导流筒和外导流筒之间,在外导流筒的外檐上方也填充保温填充层,外檐上方的保温填充层与中炉筒内的上保温层连接,压环为环形板,压环压在外檐上方的保温填充层上,压环的内沿与内导流筒的上口接触,压环的外沿与外导流筒的外檐的边缘对齐,支撑环为环形板,支撑环设置在外导流筒的外檐的下方,支撑环的边缘与中炉筒的内部固定连接,以安放热屏组件,内导流筒、外导流筒、支撑环、压环同轴设置,所述热场还包括中间反射层,所述中间反射层设置在加热器与保温层之间,中间反射层靠近加热器的表面为光滑表面,以对加热器散发的热量进行反射,中间反射层的顶部高于加热器的顶部,中间反射层的底部低于加热器的底部,以充分阻隔加热器的热量向保温层传递散失,中间反射层为中钼筒。
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