[实用新型]发热均匀的MOCVD加热器用加热片

摘要

本实用新型公开了一种发热均匀的MOCVD加热片，包括加热片本体，所述加热片本体包括由外向内设置的多个同心加热环，相邻的同心加热环之间通过相对设置的折弯部连接在一起，且相对设置的折弯部之间形成切口Ⅱ，加热片本体中从外至内任意两个相邻的切口Ⅱ皆错开设置，且每个切口Ⅱ中设有一绝缘限位体。本实用新型由外至内相邻的切口Ⅱ皆错开设置，邻近的同心加热环可以为切口Ⅱ处加热，提高了整个加热片本体的温度均匀一致性，从而避免了不均匀变形，且每个切口Ⅱ中设有的绝缘限位体保证了切口Ⅱ尺寸的稳定，避免了相对的折弯部接触短路；由于加热片本体各部分温度均匀，通电电流能够保持稳定，旋转的石墨盘受热也更均匀，石墨盘上的晶元可以均匀生长。

主权项

1.一种发热均匀的MOCVD加热片，包括加热片本体(1)，所述加热片本体(1)包括由外向内设置的多个同心加热环(11)，相邻的同心加热环(11)之间通过相对设置的折弯部(12)连接在一起，且相对设置的折弯部(12)之间形成切口Ⅱ(13)，其特征在于，加热片本体(1)上从外至内任意两个相邻的切口Ⅱ(13)皆错开设置，且每个切口Ⅱ(13)中设有一绝缘限位体(14)。