[实用新型]真空干燥设备有效
申请号: | 201820955912.8 | 申请日: | 2018-06-20 |
公开(公告)号: | CN208359724U | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 魏雄伟 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | B41J11/00 | 分类号: | B41J11/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 林青中 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种真空干燥设备,包括真空腔室、载台、至少两个导流板及抽真空装置。真空腔室的顶部设有抽真空口,载台及至少两个导流板位于真空腔室内,各导流板均与载台对应设置且依次间隔设于载台的一侧,各导流板均设有相应的开孔区,各开孔区均设有导流孔;在载台至各导流板的方向上,任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积,相邻两个开孔区的至少部分导流孔相互错开。抽真空装置与抽真空口连通,且抽真空口位于各导流板的上方。上述真空干燥设备干燥时,在待处理工件与第一个导流板之间,待处理工件挥发时产生的溶剂蒸汽随气流垂直于液面方向上运动,从而改善了真空干燥过程中干燥不均导致成膜不均的问题。 | ||
搜索关键词: | 导流板 开孔区 载台 真空干燥设备 抽真空口 抽真空装置 待处理工件 真空腔室 导流孔 真空干燥过程 本实用新型 溶剂蒸汽 液面方向 真空腔 错开 成膜 挥发 连通 垂直 室内 | ||
【主权项】:
1.一种真空干燥设备,其特征在于,包括:真空腔室,所述真空腔室的顶部设有抽真空口;载台,位于所述真空腔室内以用于承载待处理工件;至少两个导流板,位于所述真空腔室内,各所述导流板依次间隔设于所述载台的上方,各所述导流板均设有相应的开孔区,各所述开孔区均设有导流孔;在所述载台至各所述导流板的方向上,任意相邻两个导流板中后一导流板的开孔区的面积小于前一导流板的开孔区的面积,相邻两个导流板上开孔区的至少部分导流孔相互错开;及抽真空装置,与所述真空腔室的抽真空口连通,且所述抽真空口位于各所述导流板的上方。
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