[实用新型]一种加热装置、温度控制系统及镀膜设备有效
| 申请号： | 201821401439.5 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN209322998U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 马静霞 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/06;C23C14/54;G05D23/19;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热装置、镀膜设备及温度控制系统，所述加热装置包括第一加热组，所述第一加热组包括N个第一加热件，且所述N个第一加热件沿所述第一加热件轴向相垂直的方向并排设置；第二加热组，所述第二加热组包括M对第二加热件，所述M对第二加热件分别对称设置于所述第一加热组的沿所述第一加热件轴向方向的两端，且每对第二加热件串联；其中，N为大于1的整数，M为整数。本实用新型提供的加热装置、镀膜设备及温度控制系统解决了现有加热装置在加热过程中出现加热不均匀的问题，能够实现均匀的加热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 加热件 加热装置 加热组 温度控制系统 镀膜设备 本实用新型 并排设置 对称设置 加热过程 加热效果 轴向方向 不均匀 垂直的 轴向 加热 串联 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置，其特征在于，包括：第一加热组，所述第一加热组包括N个第一加热件，且所述N个第一加热件沿所述第一加热件轴向相垂直的方向并排设置；第二加热组，所述第二加热组包括M对第二加热件，所述M对第二加热件分别对称设置于所述第一加热组的沿所述第一加热件轴向方向的两端，且每对第二加热件串联；其中，N为大于1的整数，M为整数。
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