[实用新型]基板双面处理高效传递系统

摘要

本实用新型属于晶圆清洗技术领域，特别涉及一种基板双面处理高效传递系统，包括片盒单元、基板传递机器人A、中间单元、第一清洗单元、基板传递机器人B及第二清洗单元，其中片盒单元用于存储晶圆；基板传递机器人A用于在片盒单元和中间单元之间进行晶圆传输；中间单元用于晶圆的缓存和翻转；基板传递机器人B用于在中间单元和清洗单元之间进行晶圆传输；第一清洗单元和第二清洗单元分别设置于基板传递机器人B的两侧，用于对晶圆的背面及正面进行清洗。本实用新型在机器人速度最大的前提下，达到传递系统最高单位时间内送出送入基板更多的作用，解决了机器人由于工艺次序多，不能及时传递基板进行处理的弊端。

主权项

1.一种基板双面处理高效传递系统，其特征在于，包括片盒单元(1)、基板传递机器人A(2)、中间单元(3)、第一清洗单元(4)、基板传递机器人B(5)及第二清洗单元(6)，其中，所述片盒单元(1)用于存储晶圆；所述基板传递机器人A(2)用于在所述片盒单元(1)和中间单元(3)之间进行晶圆传输；所述中间单元(3)用于晶圆的缓存和翻转；所述基板传递机器人B(5)用于在所述中间单元(3)和清洗单元之间进行晶圆传输；所述第一清洗单元(4)和第二清洗单元(6)分别设置于所述基板传递机器人B(5)的两侧，用于对晶圆的背面及正面进行清洗。