[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 201821966457.8 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN209260185U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 吴江波;李冰霞;艾曼灵;金波;顾培夫 | 申请（专利权）人： | 杭州科汀光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/30;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 陈升华 |
| 地址： | 311100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括：真空室、设置在真空室内的滤光片工件架以及设置在真空室内的薄膜材料蒸发源；薄膜材料蒸发源和滤光片工件架之间并紧靠滤光片工件架处设置有一对电极，一对电极与设置在真空室外的交流高电压源电连接。本实用新型通过设置一对电极，在真空蒸发薄膜材料时，对电极施加交流高电压：频率为50Hz、电压为3.2～3.6KV。薄膜材料由高折射率材料硫化锌和低折射率材料冰晶石组成，并分别由电子束蒸发源和电阻加热蒸发源实施蒸发。采用实用新型真空镀膜机在高真空蒸发薄膜时施加交流高电压，以获得低温基底上光学、机械、化学性能优良的薄膜滤光片。 | ||
| 搜索关键词： | 交流高电压 真空镀膜机 薄膜材料 电极 工件架 滤光片 蒸发源 本实用新型 施加 室内 低折射率材料 电子束蒸发源 高折射率材料 真空蒸发薄膜 薄膜滤光片 电阻加热 化学性能 蒸发薄膜 冰晶石 电连接 对电极 高真空 硫化锌 真空室 基底 紧靠 蒸发 室外 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机，包括：真空室、设置在所述真空室内的滤光片工件架以及设置在所述真空室内的薄膜材料蒸发源；其特征在于，所述的薄膜材料蒸发源和滤光片工件架之间并紧靠所述滤光片工件架处设置有一对电极，所述的一对电极与设置在所述真空室外的交流高电压源电连接。
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