[实用新型]蒸发源的附着防止构造有效
| 申请号： | 201822006966.2 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209456552U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 星野孝雄 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸发源的附着防止构造，其具备：旋转型蒸发源，设有多个用于收纳蒸镀材料的坩锅；以及附着防止板，以覆盖所述旋转型蒸发源的方式安装于该旋转型蒸发源，且具有开口部，其特征在于，在所述旋转型蒸发源和所述附着防止板上分别设有用于对合所述旋转型蒸发源和所述附着防止板的安装位置的位置对合机构。通过具有上述构造，能够快速且准确地以正确的组合方式将附着防止板安装到与其对应的旋转型蒸发源上，从而提高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 旋转型 附着 防止板 对合 本实用新型 收纳 蒸镀材料 组合方式 开口部 坩锅 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源的附着防止构造，具备：旋转型蒸发源，设有多个用于收纳蒸镀材料的坩锅；以及附着防止板，以覆盖所述旋转型蒸发源的方式安装于该旋转型蒸发源，且具有开口部，其特征在于，在所述旋转型蒸发源和所述附着防止板上分别设有用于对合所述旋转型蒸发源和所述附着防止板的安装位置的位置对合机构。
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