[实用新型]真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201822085100.5 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN209178468U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 胡静敏;詹秀玲;霍健林;杨富国 | 申请（专利权）人： | 佛山科学技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 郭会 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型包括镀膜机镀膜室，镀膜机镀膜室内壁底部固定有支架，支架顶端固定有下半球蒸发腔，下半球蒸发腔内表面固定有支撑夹具，镀膜机镀膜室内壁底部固定有抽真空泵，抽真空泵通过真空抽管与下半球蒸发腔连通，镀膜机镀膜室内壁顶部固定有升降机构。本实用新型通过上下半球型的蒸发腔设计，先装入基体工件，再闭合蒸发腔，通过在球形腔内设置靶材全方位蒸发镀膜，镀膜更加均匀，且多余蒸发材料又会重新附着于靶材表面，不仅减小材料损失，且不会造成蒸发腔污染，降低了生产成本和设备维护成本，提高设备镀膜腔使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发腔 镀膜机 镀膜 本实用新型 室内壁 下半球 真空镀膜装置 抽真空泵 设备维护成本 真空镀膜技术 靶材表面 材料损失 基体工件 上下半球 升降机构 使用寿命 真空抽管 蒸发材料 蒸发镀膜 支撑夹具 支架顶端 重新附着 闭合 镀膜腔 镀膜室 内表面 球形腔 靶材 减小 支架 装入 生产成本 连通 污染 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜装置，包括镀膜机镀膜室(1)，其特征在于：所述镀膜机镀膜室(1)内壁底部固定有支架(2)，所述支架(2)顶端固定有下半球蒸发腔(3)，所述下半球蒸发腔(3)内表面固定有支撑夹具(4)，所述镀膜机镀膜室(1)内壁底部固定有抽真空泵(5)，所述抽真空泵(5)通过真空抽管(6)与下半球蒸发腔(3)连通，所述镀膜机镀膜室(1)内壁顶部固定有升降机构，所述升降机构底端固定有上半球蒸发腔(7)，所述下半球蒸发腔(3)和上半球蒸发腔(7)闭合形成球形蒸发腔。
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