[实用新型]一种负压检测装置和监控设备有效
| 申请号： | 201822183973.X | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209459814U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王青敬 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;C23C16/52 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种负压检测装置和监控设备。一种负压检测装置，包括：连接于所述化学气相沉膜设备上的吹气结构；连接于所述吹气结构与所述化学气相沉膜设备的连接处的检测管，引导化学气相沉膜设备中的气体进入所述负压检测装置来检测对应位置的气压；缠绕包裹在所述检测管表面的加热带，加热所述检测管。在化学气相沉膜设备工作过程中会产生一些粉末，粉末会随着气体进入到检测管中，然后会粘附在检测管的管壁上，随着慢慢的积累会将检测管堵塞，现在在检测管外侧设置一个加热带，对加热管进行加热，使管壁温度升高，防止粉末粘附在管壁上堵塞检测管。 | ||
| 搜索关键词： | 检测管 负压检测装置 膜设备 管壁 吹气结构 监控设备 加热带 粘附 加热 本实用新型 堵塞检测 外侧设置 加热管 气压 缠绕 堵塞 检测 积累 | ||
【主权项】：
1.一种负压检测装置，应用于化学气相沉膜设备，其特征在于，包括：吹气结构，连接于所述化学气相沉膜设备上；检测管，连接于所述吹气结构与所述化学气相沉膜设备的连接处，引导所述化学气相沉膜设备中的气体进入所述负压检测装置检测对应位置的气压；加热带，缠绕包裹在所述检测管表面，加热所述检测管。
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