[发明专利]复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法在审
| 申请号： | 201880021173.8 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110461797A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 日高宣浩;木村直人 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/117 | 分类号： | C04B35/117;H01L21/3065;H01L21/683;H02N13/00 |
| 代理公司： | 31291 上海立群专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 毛立群<国际申请>=PCT/JP2018 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的复合烧结体为含有作为主相的金属氧化物及作为副相的碳化硅的陶瓷复合烧结体，所述碳化硅的晶粒分散在所述金属氧化物的晶粒内及所述金属氧化物的晶体晶界中，分散在所述金属氧化物的晶粒内的所述碳化硅的晶粒的比例相对于碳化硅的晶粒整体以面积比计为25％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 金属氧化物 晶粒 碳化硅 复合烧结体 晶粒分散 陶瓷复合 面积比 烧结体 晶界 | ||
【主权项】：
1.一种复合烧结体，其为含有作为主相的金属氧化物及作为副相的碳化硅的陶瓷复合烧结体，/n所述碳化硅的晶粒分散在所述金属氧化物的晶粒内及所述金属氧化物的晶体晶界中，/n分散在所述金属氧化物的晶粒内的所述碳化硅的晶粒的比例相对于所述碳化硅的晶粒整体以面积比计为25％以上。/n
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