[发明专利]包括马蹄足结构导电图案的集成电路有效

专利信息
申请号: 201910383239.4 申请日: 2019-05-09
公开(公告)号: CN110518009B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 都桢湖;柳志秀;俞炫圭;李昇映;李在鹏;郑钟勋 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/535;G06F30/392
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王新华
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开提供了包括马蹄足结构导电图案的集成电路。该集成电路包括标准单元。标准单元可以包括多条栅线和多个第一布线。所述多个第一布线可以包括马蹄足结构导电图案,该马蹄足结构导电图案包括彼此间隔开的第一导电图案和第二导电图案。第一导电图案和第二导电图案中的每个可以包括在第一方向上延伸的第一线图案和在垂直于第一方向的方向上从第一线图案的一端突出的第二线图案。所述多条栅线可以在第一方向上彼此间隔开第一节距,并且所述多个第二布线可以在第一方向上彼此间隔开第二节距。第一节距可以大于第二节距。
搜索关键词: 包括 马蹄 结构 导电 图案 集成电路
【主权项】:
1.一种集成电路,包括:/n由单元边界限定的标准单元和在所述标准单元的上层上的多个第二布线,/n所述标准单元包括,/n多条栅线,在第一方向上彼此间隔开并在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸;和/n在所述多条栅线的上层上的多个第一布线,所述多个第一布线包括马蹄足结构导电图案,所述马蹄足结构导电图案包括彼此间隔开的第一导电图案和第二导电图案,所述第一导电图案和所述第二导电图案中的每个包括在第一方向上延伸的第一线图案和在垂直于所述第一方向的方向上从所述第一线图案的一端突出的第二线图案,并且所述多条栅线在所述第一方向上彼此间隔开第一节距;并且/n所述多个第二布线在所述第二方向上延伸,所述多个第二布线在所述第一方向上彼此间隔开第二节距,所述第二节距小于所述第一节距。/n
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