[发明专利]一种柔性光电探测器件的制备方法及柔性光电探测器件

摘要

本发明提供的柔性光电探测器件的制备方法，通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工，实现对其上表面的近场光学相干增强效应；然后在此上表面沉积钙钛矿薄膜，再在沉积有钙钛矿薄膜的表面蒸镀电极获取柔性光电探测器件，本发明提供的柔性光电探测器件的制备方法，在未经飞秒激光加工的光滑表面上沉积制备钙钛矿薄膜，使光散射界面与钙钛矿薄膜材料界面分离，这样既能使得基底材料实现近场光学增强、提高光活性层的光吸收和量子效率，又能保证光活性层的致密性和完整性，减少材料缺陷对器件性能的不利影响，工艺简单。