[发明专利]合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法在审
| 申请号： | 201910663690.1 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110752188A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 松井晴信;原田大实;冈藤大雄;山崎裕之;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/04 | 分类号： | H01L23/04;H01L23/08;H01L33/48 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 空腔件 光学装置 合成 侧表面 顶表面 粗糙表面 镜面表面 封装体 空腔盖 内表面 限定空 基材 腔件 容纳 制造 | ||
【主权项】：
1.合成石英玻璃空腔件，该合成石英玻璃空腔件适合于连接至其上安装有光学装置的基材，使得可将该装置容纳在该空腔件中，/n该空腔件具有由与该装置的活性表面相对的表面部分和剩余表面部分构成的内表面，该相对的表面部分为镜面表面并且该剩余表面部分为粗糙表面。/n
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