[发明专利]一种减小温差的加热器及其制作方法和应用在审
申请号: | 201910666047.4 | 申请日: | 2019-07-23 |
公开(公告)号: | CN110241403A | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 张希现;穆熙 | 申请(专利权)人: | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/513 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 王冰冰 |
地址: | 241000 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种减小温差的加热器及其制备方法和应用,加热器包括加热器板,加热器板内设有加热单元,加热单元包括外线圈和内线圈,所述内线圈将加热器板分为上下对称及左右对称的线路分布区域,且线路分布区域内的发热线从加热器板内部到外角区域形成多次折弯的线路形状的模式。本发明通过创新性的更改加热器的热线分布方式,通过在相应区域的发热线之间不连接,有一定的间距,整个布线结果能够减少加热器基板的各个区域温差在7℃以下。 | ||
搜索关键词: | 加热器 加热器板 分布区域 加热单元 发热线 内线圈 减小 温差 制备方法和应用 加热器基板 多次折弯 分布方式 区域温差 上下对称 外角区域 线路形状 相应区域 左右对称 创新性 外线圈 布线 热线 制作 应用 | ||
【主权项】:
1.一种减小温差的加热器,包括加热器板,加热器板内设有加热单元,加热单元包括外线圈和内线圈,其特征在于,所述内线圈将加热器板分为上下对称及左右对称的线路分布区域,且线路分布区域内的发热线从加热器板内部到外角区域形成多次折弯的线路形状的模式。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的