[发明专利]非接触型位移传感器有效
| 申请号： | 201910677959.1 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110793432B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 久保光司;宍户裕子 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邸万奎 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种非接触型位移传感器，包括：光源，其发射测量光；液体透镜装置，其折射率响应于输入驱动信号而周期性地变化；物镜，其将从光源发射并已经穿过液体透镜装置的测量光照射在可测量物体处；光检测器，接收由可测量物体反射的测量光，并输出光检测信号；以及信号处理器(控制器)，其基于从光检测器输出的光检测信号计算测量光聚焦在可测量物体的表面上的聚焦定时，并且基于聚焦定时相对于驱动信号周期的相位获得可测量物体的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 位移 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种非接触型位移传感器，包括：/n光源，其发射测量光；/n液体透镜，其中折射率响应于输入驱动信号而周期性地变化；/n物镜，其将从所述光源发射并已经穿过所述液体透镜的测量光照射在可测量物体处；/n光检测器，其接收由可测量物体反射的测量光，以及输出光检测信号；和/n信号处理器，其基于从所述光检测器输出的光检测信号计算测量光聚焦在所述可测量物体的表面上的聚焦定时，并且基于所述聚焦定时相对于驱动信号的周期的相位获得可测量物体的位置。/n
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