[发明专利]一种RF射频电源的功率检测系统有效
申请号: | 201910731458.7 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN110632533B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 王璐菊;杨章静;吴海荣;耿广善;刘天瑞 | 申请(专利权)人: | 苏州博维仪器科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/42 | 分类号: | G01R31/42;G01R21/08 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种RF射频电源的功率检测系统,包括定向耦合系统和主控系统,所述定向耦合系统包括输入口、输出口和耦合输出口,所述输入口是为了输送入射功率,所述输出口是为了输出反射功率,所述定向耦合系统还包括入射功率检测信号的运算电路和反射功率检测信号的运算电路,通过定向耦合系统耦出来的入射和反射的比例信号进行滤波和放大处理,然后将检测的信号传送给主控系统。本发明,将功率检测设计直接集成在射频电源内部,体积小成本低;将大功率输出的交流信号转化为低压直流信号,便于系统检测射频电源的工作状态。 | ||
搜索关键词: | 一种 rf 射频 电源 功率 检测 系统 | ||
【主权项】:
1.一种RF射频电源的功率检测系统,包括定向耦合系统和主控系统,其特征在于:所述定向耦合系统包括输入口、输出口和耦合输出口,所述输入口是为了输送入射功率,所述输出口是为了输出反射功率,所述定向耦合系统还包括入射功率检测信号的运算电路和反射功率检测信号的运算电路,通过定向耦合系统耦出来的入射和反射的比例信号进行滤波和放大处理,然后将检测的信号传送给主控系统。/n
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